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SJ6000國(guó)內(nèi)激光干涉儀是高精度,、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器,,集光、機(jī),、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng),、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,,還可以實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移,、加速度,、速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,,如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào):SJ6000
產(chǎn)品名稱:SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式:激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
線性測(cè)量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測(cè)量距離:(0-80)m(無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件)
角度測(cè)量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測(cè)量分辨力:1nm
動(dòng)態(tài)采集頻率:50KHz
預(yù)熱時(shí)間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
主要特點(diǎn):應(yīng)用范圍廣,、測(cè)量精度高,、操作方便
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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SJ6000國(guó)內(nèi)激光干涉儀產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,,其壽命可達(dá)50000小時(shí),;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng),、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集,、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),,可實(shí)現(xiàn)最高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率,;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償,;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文,、英文和俄文語(yǔ)言,,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理,。